傳統(tǒng)的單晶熱場(chǎng)系統(tǒng)主要使用高純度、高強(qiáng)度等靜壓石墨材料,但有以下問(wèn)題:
1) 石墨在反復(fù)的高溫?zé)釠_擊下容易開(kāi)裂,導(dǎo)致部件損壞,引發(fā)安全事故;
2) 石墨成分蒸發(fā)的雜質(zhì)或石墨降解形成的顆粒會(huì)污染硅熔體,影響晶體質(zhì)量;
3) 在制備大直徑產(chǎn)品時(shí),傳統(tǒng)的石墨熱場(chǎng)材料難以形成。
碳基復(fù)合材料具有:
1) 成本效益高,產(chǎn)品壽命長(zhǎng),降低了部件更換頻率,從而提高了設(shè)備利用率, 降低了維護(hù)成本;
2) 它可以做得更薄,允許使用現(xiàn)有設(shè)備生產(chǎn)更大直徑的單晶產(chǎn)品;
3) 安全性高,在反復(fù)高溫?zé)釠_擊下不易開(kāi)裂;
4) 它可以實(shí)現(xiàn)近凈成形,在大直徑單晶爐熱場(chǎng)系統(tǒng)領(lǐng)域具有明顯優(yōu)勢(shì)。